Messtechnik und Analytik

Welches Gerät wird häufig zum zerstörungsfreien Auffinden von Delaminationen an Grenzflächen zwischen Vergussmasse und Chip im Gehäuse verwendet?

  1. AAkustisches Rastermikroskop (SAT)
  2. BElektronenstrahl-Lithografieanlage
  3. CIonenimplantationsanlage
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Antwort: A. Akustisches Rastermikroskop (SAT)

Das akustische Rastermikroskop (SAT) strahlt unter Wasser Ultraschall von einigen zehn bis einigen hundert MHz in das Gehäuse ein und bildet die an inneren Grenzflächen reflektierten Schallwellen ab. Da sich die akustische Impedanz von Feststoffen und Luft stark unterscheidet und die Luftschicht an delaminierten Stellen den Schall nahezu vollständig reflektiert, lassen sich Delaminationen zwischen Harz und Chip oder Leadframe, Risse und Lunker zerstörungsfrei finden. Es ist Standard bei der Bewertung nach Feuchtigkeits-Reflow-Tests.

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