Nederlands
Menu

Metrologie en analyse

Welk apparaat wordt veel gebruikt om niet-destructief delaminatie aan grensvlakken tussen inkapselingskunststof en chip enz. in de behuizing te vinden?

  1. AScanning acoustic microscope (SAT)
  2. BElektronenbundelschrijver
  3. CIonenimplanter
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Scanning acoustic microscope (SAT)

Een scanning acoustic microscope (SAT) straalt in water ultrageluid van enkele tientallen tot honderden MHz op de behuizing en maakt een beeld van de geluidsgolven die door interne grensvlakken worden gereflecteerd. De akoestische impedantie van vaste stof en lucht verschilt sterk, en bij een gedelamineerd gebied reflecteert de luchtlaag bijna alle geluidsgolven, zodat delaminatie tussen kunststof en chip of leadframe, scheuren en holtes niet-destructief kunnen worden gevonden. Het is een standaardmethode voor evaluatie na vochtopname- en reflowtests.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Metrologie en analyse

  1. Welke methode meet, om de kwaliteit van wafers en epilagen van samengestelde halfgeleiders contactloos te beoordelen, het spectrum en de intensiteitsverdeling van het licht dat na laserbestraling wordt uitgezonden?
  2. Welke eigenschap van de donkerveldmethode, die alleen verstrooid licht opvangt, is juist in vergelijking met de lichtveldmethode die het patroonbeeld rechtstreeks bekijkt, bij defectinspectieapparatuur voor wafers?
  3. Welk apparaat tast het monsteroppervlak af met een dunne naald en meet uit de op- en neerwaartse beweging van de naald de staphoogte en de oppervlaktevorm?
  4. Hoe heet de methode waarbij laagdikte of afmetingen van niet gemeten wafers met een statistisch model worden voorspeld uit onder meer sensorgegevens van de apparatuur?
  5. Wat veroorzaakt gemakkelijk meetfouten wanneer met AFM de vorm van zeer smalle grachten of steile zijwanden wordt gemeten?

Vergelijkingen bij dit onderwerp