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Métrologie et analyse

Quel appareil mesure la hauteur des marches et la forme de surface à partir du mouvement vertical d’une pointe fine qui suit la surface de l’échantillon ?

  1. ASpectromètre de masse
  2. BProfilomètre à stylet
  3. CEllipsomètre
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Réponse : B. Profilomètre à stylet

Le profilomètre à stylet parcourt la surface avec une pointe fine sous une faible force constante et mesure la hauteur des marches et l’ondulation de surface à partir du déplacement vertical de la pointe. Il sert à vérifier la profondeur de gravure, les marches de films et la planéité à grande échelle après CMP. Sa résolution est plus grossière que celle de l’AFM, mais il peut balayer de longues distances de l’ordre du millimètre. Le spectromètre de masse mesure la composition, l’ellipsomètre l’épaisseur.

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