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Métrologie et analyse

Lors de la mesure à l’AFM de tranchées très étroites ou de flancs abrupts, quelle est une source d’erreur fréquente ?

  1. AL’AFM ne fonctionne que sous vide
  2. BLa pointe ayant une taille et une forme finies, la forme de la pointe se superpose à la forme mesurée
  3. CL’AFM ne peut pas mesurer le relief de surface
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Réponse : B. La pointe ayant une taille et une forme finies, la forme de la pointe se superpose à la forme mesurée

L’AFM mesurant la forme en parcourant la surface avec une pointe, celle-ci n’atteint pas le fond d’une tranchée plus étroite que son extrémité, et sur un flanc abrupt le côté de la pointe touche en premier. La forme mesurée est donc une convolution de la forme réelle et de celle de la pointe : les tranchées paraissent moins profondes et plus étroites, les lignes plus larges. On utilise des pointes fines ou des pointes à extrémité évasée dédiées aux flancs, et l’on effectue des analyses qui estiment la forme de la pointe pour corriger.

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