Dans les équipements d’inspection de défauts, quelle caractéristique du mode champ sombre, qui ne capte que la lumière diffusée, est correcte par rapport au mode champ clair, qui observe directement l’image du motif ?

Réponse : A. Il détecte avec une grande sensibilité la lumière diffusée par les particules et facilite l’inspection rapide de grandes surfaces

En champ sombre, la lumière réfléchie spéculairement n’est pas captée ; seule la lumière diffusée par les particules et défauts l’est, si bien que le fond est sombre et que les petites particules ressortent brillantes, ce qui permet d’inspecter rapidement de grandes surfaces. Le champ clair saisit directement l’image du motif par la lumière réfléchie et excelle dans la détection des défauts de forme du motif, mais l’inspection est plus lente. On utilise donc le champ sombre pour la surveillance des particules et le champ clair pour l’évaluation détaillée de nouveaux procédés.