量測與分析
廣泛用於非破壞地發現封裝內部的封裝樹脂與晶片等界面之分層(delamination)的設備是下列何者?
- A超音波顯微鏡(SAT)
- B電子束微影設備
- C離子佈植設備
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正確答案:A. 超音波顯微鏡(SAT)
超音波顯微鏡(SAT)是在水中對封裝照射數十~數百MHz的超音波,將內部界面反射回來的聲波影像化。固體與空氣的聲阻抗差異很大,在分層處的空氣層上聲波幾乎全部被反射,因此能非破壞地發現樹脂與晶片或導線架之間的分層、裂痕與空洞。是吸濕回焊試驗後評估的標準做法。
- A. 正確。由超音波的反射發現分層。
- B. 電子束微影設備是描繪圖案的設備。
- C. 離子佈植設備是打入雜質的設備。