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Métrologie et analyse

Quelle méthode évalue sans contact la qualité des plaquettes et couches épitaxiales de semi-conducteurs composés en mesurant le spectre et la répartition d’intensité de la lumière émise sous éclairage laser ?

  1. AAFM
  2. BPhotoluminescence (PL)
  3. CMéthode des quatre pointes
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Réponse : B. Photoluminescence (PL)

En photoluminescence, un laser d’énergie supérieure à la bande interdite crée des porteurs, et l’on mesure la lumière émise lors de leur recombinaison. La longueur d’onde d’émission donne la composition et la bande interdite, et la répartition d’intensité les défauts et inhomogénéités ; la méthode est largement utilisée pour évaluer les couches épitaxiales pour LED et lasers. Sans électrode, elle permet de cartographier toute la plaquette. Le refroidissement de l’échantillon permet de séparer et d’étudier en détail les émissions liées aux défauts.

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