Métrologie et analyse
Quelle méthode permet d’éviter la charge (charge-up) lors de l’observation au SEM d’un échantillon isolant ?
- AAbaisser la tension d’accélération ou revêtir la surface d’un mince film conducteur
- BAugmenter autant que possible la tension d’accélération
- CImmerger l’échantillon dans l’eau
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Réponse : A. Abaisser la tension d’accélération ou revêtir la surface d’un mince film conducteur
Lorsqu’un isolant est irradié par des électrons, les charges s’accumulent sans s’écouler, ce qui déforme l’image ou perturbe la luminosité. Abaisser la tension d’accélération équilibre plus facilement les électrons incidents et les électrons secondaires émis, ce qui réduit la charge. On peut aussi déposer sur la surface un mince film conducteur d’or ou de carbone, ou observer en vide partiel, où les molécules de gaz neutralisent les charges. Augmenter la tension aggrave généralement la charge, et un échantillon immergé ne peut pas être observé sous vide.