Quelle technique est étudiée et introduite pour mesurer en trois dimensions la forme de trous profonds sans détruire la coupe ?

Réponse : B. La mesure dimensionnelle par diffusion des rayons X (CD-SAXS), etc.

Pour des structures comme les trous mémoire des 3D NAND, de quelques µm de profondeur et d’environ 100 nm de diamètre, la forme interne est difficile à saisir par métrologie optique ou SEM, et l’observation en coupe est destructive. Les rayons X traversant facilement la matière, des méthodes comme la CD-SAXS, qui déduit la forme des structures périodiques de la figure de diffusion des rayons X transmis à travers la plaquette, sont étudiées et introduites. La faible intensité des sources X et la durée des mesures restent des défis.