Quelle inspection détecte notamment les défauts de conduction des contacts en exploitant les différences de luminosité dues aux différences de charge sous faisceau d’électrons ?

Réponse : B. Inspection par contraste de potentiel (voltage contrast)

Sous faisceau d’électrons, un contact relié électriquement au substrat évacue ses charges et ne se charge pas, tandis qu’un contact coupé et flottant se charge. La quantité d’électrons secondaires émis variant selon la charge, il en résulte une différence de luminosité. Ce contraste de potentiel permet de détecter des contacts non ouverts ou des interconnexions coupées invisibles depuis la surface ; il est utilisé en production sur les équipements d’inspection par faisceau d’électrons.