Quelle fonction photographie au SEM les défauts détectés en inspection et classe automatiquement leur type à partir des images ?

Réponse : B. Classification automatique des défauts (ADC)

Un équipement d’inspection peut détecter plusieurs milliers de défauts sur une seule plaquette, et l’étude de leurs causes exige de les classer par type. La classification automatique des défauts (ADC) classe automatiquement les images du SEM de revue en particules, défauts de motif, rayures, etc., ce qui accélère l’identification de l’étape ou de l’équipement en cause. L’apprentissage automatique y est de plus en plus utilisé. L’ATPG génère des motifs de test, l’APC est la commande automatique des procédés.