계측과 분석

SEM으로 절연물 시료를 관찰할 때 대전(차지업)을 방지하는 방법으로 올바른 것은?

  1. A가속 전압을 낮추거나, 시료 표면에 얇은 도전막을 코팅한다
  2. B가속 전압을 가능한 한 높인다
  3. C시료를 물에 담근다
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정답: A. 가속 전압을 낮추거나, 시료 표면에 얇은 도전막을 코팅한다

절연물에 전자빔을 쏘면 전하가 빠져나가지 못하고 쌓여 영상이 일그러지거나 밝기가 흐트러집니다. 가속 전압을 낮추면 입사하는 전자와 나가는 2차 전자의 수가 균형을 이루기 쉬워져 대전이 줄어듭니다. 시료 표면에 금이나 탄소 등의 얇은 도전막을 입히거나, 기체 분자로 전하를 중화하는 저진공 조건에서 관찰하는 방법도 있습니다. 가속 전압을 높이면 대전이 악화되기 쉽고, 물에 담그면 진공 중에서 관찰할 수 없습니다.

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