Metrologie en analyse

Welke methode voorkomt opladen (charge-up) bij het waarnemen van isolerende monsters met een SEM?

  1. ADe versnelspanning verlagen of het monsteroppervlak met een dunne geleidende laag bedekken
  2. BDe versnelspanning zo hoog mogelijk maken
  3. CHet monster in water onderdompelen
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. De versnelspanning verlagen of het monsteroppervlak met een dunne geleidende laag bedekken

Wanneer een isolator met een elektronenbundel wordt bestraald, vloeit de lading niet weg maar hoopt zich op, waardoor het beeld vervormt of de helderheid verstoord raakt. Bij een lagere versnelspanning komen invallende elektronen en uitgaande secundaire elektronen beter in evenwicht, zodat het opladen afneemt. Er zijn ook methoden zoals het aanbrengen van een dunne geleidende laag van bijvoorbeeld goud of koolstof op het monsteroppervlak, of waarnemen onder lage-vacuümomstandigheden waarbij gasmoleculen de lading neutraliseren. Een hogere versnelspanning verergert het opladen eerder, en onderdompelen in water laat geen waarneming in vacuüm toe.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Metrologie en analyse

  1. Welke technologie wordt onderzocht en ingevoerd om de vorm van diepe gaten enz. driedimensionaal te meten zonder de doorsnede te vernietigen?
  2. Welke methode wordt gebruikt om de concentratie interstitieel zuurstof in silicium te meten?
  3. Welke methode meet contactloos de levensduur van ladingdragers in een wafer en beoordeelt zo onder meer metaalverontreiniging?
  4. Welke functie fotografeert bij inspectie gevonden defecten met SEM en classificeert automatisch het defecttype uit het beeld?
  5. Wat is het gangbare verschil tussen 'metrologie' en 'inspectie' in een halfgeleiderproductielijn?

Vergelijkingen bij dit onderwerp