Metrologie en analyse
Welke methode voorkomt opladen (charge-up) bij het waarnemen van isolerende monsters met een SEM?
- ADe versnelspanning verlagen of het monsteroppervlak met een dunne geleidende laag bedekken
- BDe versnelspanning zo hoog mogelijk maken
- CHet monster in water onderdompelen
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. De versnelspanning verlagen of het monsteroppervlak met een dunne geleidende laag bedekken
Wanneer een isolator met een elektronenbundel wordt bestraald, vloeit de lading niet weg maar hoopt zich op, waardoor het beeld vervormt of de helderheid verstoord raakt. Bij een lagere versnelspanning komen invallende elektronen en uitgaande secundaire elektronen beter in evenwicht, zodat het opladen afneemt. Er zijn ook methoden zoals het aanbrengen van een dunne geleidende laag van bijvoorbeeld goud of koolstof op het monsteroppervlak, of waarnemen onder lage-vacuümomstandigheden waarbij gasmoleculen de lading neutraliseren. Een hogere versnelspanning verergert het opladen eerder, en onderdompelen in water laat geen waarneming in vacuüm toe.