Quelle est la différence générale entre « métrologie » et « inspection » sur une ligne de fabrication de semi-conducteurs ?

Réponse : A. La métrologie mesure des valeurs comme les dimensions ou l’épaisseur, l’inspection recherche des anomalies comme les particules ou les défauts de motif

Sur une ligne de fabrication, on distingue la « métrologie », qui mesure quantitativement en des points définis des valeurs comme la largeur de ligne, l’épaisseur ou la superposition, et l’« inspection », qui recherche sur une large zone de la plaquette des anomalies comme les particules, les manques ou les ponts de motif. Les zones trouvées par l’inspection sont souvent examinées en détail au SEM de revue ou avec des équipements de métrologie. Les deux visent à connaître tôt l’état du procédé et à réduire les défauts.