Quelle méthode mesure sans contact la durée de vie des porteurs d’une plaquette pour évaluer notamment la contamination métallique ?

Réponse : A. Décroissance de photoconductivité par micro-ondes (μ-PCD)

La μ-PCD génère des porteurs dans la plaquette par une impulsion lumineuse et mesure leur décroissance par recombinaison à partir de la variation de réflectivité micro-onde. Les contaminations métalliques comme le fer agissent comme centres de recombinaison et réduisent la durée de vie ; la méthode sert donc à surveiller la contamination des fours de traitement thermique et à évaluer la qualité des plaquettes. Sans électrode, elle permet aussi de cartographier toute la plaquette. La SIMS et la XRD ne mesurent pas la durée de vie.