Welke inspectie detecteert onder meer geleidingsdefecten van contacten met behulp van helderheidsverschillen door verschillen in oplading bij bestraling met een elektronenbundel?

Antwoord: B. Potentiaalcontrast (voltage contrast) inspectie

Bij bestraling met een elektronenbundel laden contacten die elektrisch met het substraat zijn verbonden niet op omdat de lading wegvloeit, terwijl onderbroken zwevende contacten wel opladen. Omdat de hoeveelheid vrijkomende secundaire elektronen door het verschil in oplading verandert, verschijnt dit als helderheidsverschil. Met dit potentiaalcontrast kunnen open contacten en onderbroken bedrading die aan het oppervlak niet zichtbaar zijn worden gedetecteerd, en het wordt ook in productielijnen gebruikt in elektronenbundelinspectieapparatuur.