계측과 분석

전자빔을 쏘았을 때의 대전 차이에 의한 밝기 차이를 이용하여 콘택트의 도통 불량 등을 검출하는 검사는?

  1. AX선 회절(XRD)
  2. B전위 콘트라스트(볼티지 콘트라스트) 검사
  3. CX선 반사율법(XRR)
정답과 해설 보기

정답: B. 전위 콘트라스트(볼티지 콘트라스트) 검사

전자빔을 쏘면 기판 등에 전기적으로 연결된 콘택트는 전하가 빠져나가 대전되지 않고, 단선되어 떠 있는 것은 대전됩니다. 대전 차이에 따라 나오는 2차 전자의 양이 달라지므로 밝기 차이로 나타납니다. 이 전위 콘트라스트를 이용하면 표면에서는 보이지 않는 콘택트 오픈 불량이나 배선 단선을 검출할 수 있으며, 전자빔 검사 장비로 양산 라인에서도 사용되고 있습니다.

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