Comment s’appelle la mesure qui contrôle le procédé en mesurant les plaquettes de production en cours de fabrication, au sein de la ligne ?

Réponse : A. Métrologie en ligne

La métrologie en ligne mesure, avec des équipements intégrés à la ligne de production, l’épaisseur, les dimensions, la superposition, les défauts, etc. des plaquettes de production en cours de procédé. Elle détecte tôt les anomalies, évite que des produits défectueux passent aux étapes suivantes et ses résultats servent parfois à corriger les réglages des équipements. Elle utilise des méthodes non destructives. On la distingue de la métrologie hors ligne, qui examine en détail hors de la ligne, et de l’analyse destructive, qui détruit l’échantillon.