Welke relatie wordt gebruikt om uit de verandering van de waferkromming voor en na laagafzetting de filmspanning te bepalen?

Antwoord: B. Stoney-vergelijking

De Stoney-vergelijking is een formule, σ = Es·hs²/(6(1−νs)hf) × (1/R − 1/R0), die uit de elasticiteitsmodulus Es, de Poisson-verhouding νs en de dikte hs van het substraat, de dikte hf van de film en de verandering van de waferkromming voor en na de afzetting de spanning in de film bepaalt. Een voordeel is dat de elastische constanten van de film niet bekend hoeven te zijn; de waferkromming wordt met laserreflectie gemeten om de spanning te beoordelen. De Blackvergelijking betreft elektromigratie en de Prestonvergelijking de polijstsnelheid bij CMP.