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Métrologie et analyse

Quelle méthode est utilisée pour mesurer la courbure (bow, warp) et la planéité des plaquettes ?

  1. ALa mesure de forme sans contact par interféromètre optique ou capteur capacitif
  2. BL’analyse de masse par SIMS
  3. CL’analyse élémentaire par EDX
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Réponse : A. La mesure de forme sans contact par interféromètre optique ou capteur capacitif

La forme de la plaquette se mesure sans contact, avec des instruments exploitant les interférences lumineuses ou des capteurs qui mesurent par capacité la distance aux deux faces. La courbure (bow, warp) influe sur le transport et le maintien par aspiration, et la planéité locale sur le respect de la profondeur de champ de l’exposition ; elles sont contrôlées à la réception des plaquettes et après dépôt. La SIMS est une méthode d’analyse de masse, l’EDX une méthode d’analyse élémentaire.

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