웨이퍼의 휨(보우·워프)이나 평탄도 측정에 사용되는 방법으로 올바른 것은?

정답: A. 광 간섭계나 정전 용량 센서에 의한 비접촉 형상 측정

웨이퍼의 형상은 빛의 간섭을 이용한 측정기나, 웨이퍼 양면까지의 거리를 정전 용량으로 측정하는 센서 등으로 웨이퍼에 닿지 않고 측정합니다. 휨(보우·워프)은 반송이나 흡착에, 국소적인 평탄도는 노광의 초점 심도 안에 들어오는지에 영향을 주므로, 웨이퍼 입고 검사나 성막 후 평가에서 관리됩니다. SIMS는 질량 분석, EDX는 원소 분석 방법입니다.