Wie heißt das Phänomen, dass sich bei der CD-SEM-Messung von ArF-Resiststrukturen die Struktur durch die Elektronenbestrahlung zusammenzieht?

Antwort: A. Shrinkage (Schrumpfung des Resists durch Elektronenstrahl)

ArF-Resist ist empfindlich gegen Elektronenstrahlen; durch die Bestrahlung bei der Messung zerfallen Moleküle, das Volumen nimmt ab, und die Struktur schrumpft. Da sich der Wert mit jeder Messung ändert, wird die Dosis verringert oder die Schrumpfung vorab bestimmt und korrigiert. Aufladung ist das Phänomen, dass sich auf Isolatoren Ladung ansammelt und das Bild verzerrt, Drift das zeitliche Wandern von Bild oder Gerätewerten; beides sind keine Schrumpfungsphänomene.