계측과 분석
CD-SEM으로 ArF 레지스트 패턴을 측정할 때 전자빔 조사로 인해 패턴이 줄어드는 현상을 무엇이라고 하는가?
- A슈링크(전자빔에 의한 레지스트 수축)
- B차지업
- C드리프트
정답과 해설 보기
정답: A. 슈링크(전자빔에 의한 레지스트 수축)
ArF 레지스트는 전자빔에 약해서, 측정을 위한 전자빔 조사로 분자가 분해되어 부피가 줄고 패턴이 수축합니다. 측정할 때마다 값이 달라지므로 조사량을 줄이거나, 줄어드는 양을 미리 구해 보정합니다. 차지업은 절연물에 전하가 쌓여 영상이 일그러지는 현상이고, 드리프트는 영상이나 장비의 값이 시간에 따라 어긋나는 현상이며, 둘 다 패턴이 줄어드는 현상이 아닙니다.