Français
Menu

Métrologie et analyse

Que place-t-on sur la plaquette pour mesurer l’erreur de superposition (overlay) ?

  1. ADes plots de connexion
  2. BUne encoche (notch)
  3. CDes marques dédiées à la mesure de superposition
Afficher la réponse et l'explication

Réponse : C. Des marques dédiées à la mesure de superposition

Pour mesurer la précision de superposition, on réalise, par exemple dans les chemins de découpe, des marques dédiées combinant des motifs de la couche précédente et de la couche courante. Un équipement optique mesure le décalage entre les centres des deux motifs, ou déduit le décalage de la différence de lumière diffractée par des réseaux superposés. Les résultats sont transmis au scanner sous forme de décalages par position sur la plaquette et servent à corriger le lot suivant. Les plots de connexion et l’encoche ont d’autres fonctions.

S'entraîner sur ce thème Retour au thème

Autres questions sur Métrologie et analyse

  1. Quelle technique envoie des rayons X sous un angle très rasant et déduit l’épaisseur et la densité de films minces des oscillations de la réflectivité ?
  2. Quelle méthode est utilisée pour mesurer la courbure (bow, warp) et la planéité des plaquettes ?
  3. Quelle méthode évalue si la répétabilité et la reproductibilité d’un instrument de mesure sont suffisamment faibles par rapport à la dispersion du procédé à contrôler ?
  4. Pour quelle raison principale un microscope optique ne permet-il pas d’observer directement des motifs de quelques dizaines de nm ?
  5. Quelle relation est utilisée pour déterminer la contrainte d’un film à partir de la variation de courbure de la plaquette avant et après dépôt ?

Comparatifs sur ce thème