Que mesure principalement le microscope à force atomique (AFM) ?

Réponse : C. Le relief fin de la surface (forme et rugosité)

L’AFM balaie la surface avec un levier (cantilever) muni d’une pointe acérée, en détectant par réflexion laser sa déflexion due aux forces interatomiques, pour mesurer le relief de surface. Résolvant des différences de hauteur d’environ 0.1 nm, il sert à évaluer la rugosité après CMP et l’état de surface des films minces. Le mode tapping, où la pointe oscille et touche légèrement la surface, endommage peu l’échantillon. La résistance carrée et la distribution des dopants se mesurent par d’autres méthodes.