Messtechnik und Analytik

Was lässt sich mit EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie), das mit SEM oder TEM kombiniert wird, feststellen?

  1. ADie Oberflächenrauheit
  2. BArt und Menge der in der Probe enthaltenen Elemente
  3. CDie innere Spannung einer Schicht
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Antwort: B. Art und Menge der in der Probe enthaltenen Elemente

Trifft ein Elektronenstrahl auf die Probe, werden Elektronen innerer Schalen herausgeschlagen, und wenn äußere Elektronen nachrücken, entsteht charakteristische Röntgenstrahlung mit elementspezifischer Energie. EDX analysiert diese Energie und bestimmt Art und Menge der Elemente. Da die Zusammensetzung an der im Elektronenmikroskop betrachteten Stelle direkt bekannt wird, wird es breit zur Analyse von Partikeln und Fehlerstellen eingesetzt. Die Nachweisgrenze liegt bei etwa 0,1 Gew.-%; für die Analyse geringster Verunreinigungen dient z. B. SIMS.

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