Quel est le principe typique des équipements d’inspection de défauts qui détectent les particules et les défauts de motif sur une plaquette ?

Réponse : A. La détection de la lumière diffusée sous éclairage et la comparaison des images de puces adjacentes

Une particule diffuse la lumière incidente ; la détection de cette lumière diffusée permet de la repérer. Les défauts de motif sont détectés en comparant l’image d’une puce à celle de la puce voisine portant le même motif, les zones différentes étant considérées comme défectueuses. La comparaison de deux puces ne permet pas de savoir laquelle est défectueuse ; on compare donc trois puces et on décide à la majorité. Les défauts détectés sont ensuite observés en détail et classés au SEM de revue. La masse ou le son ne révèlent pas les défauts.