Messtechnik und Analytik
Welche Vorbehandlung ist erforderlich, um eine Probe im Transmissionselektronenmikroskop (TEM) zu beobachten?
- ADie Probe wird auf eine Dicke von einigen cm aufgeschichtet
- BDie Probe wird auf etwa 100 nm oder weniger gedünnt, damit der Elektronenstrahl hindurchtreten kann
- CDie Probe wird in einer Flüssigkeit aufgelöst
Antwort und Erläuterung anzeigen
Antwort: B. Die Probe wird auf etwa 100 nm oder weniger gedünnt, damit der Elektronenstrahl hindurchtreten kann
Das TEM erzeugt das Bild aus den durch die Probe getretenen Elektronen, daher muss die Probe auf etwa 100 nm oder weniger gedünnt werden, damit der Elektronenstrahl hindurchtreten kann. Bei Halbleiterbauelementen wird häufig die Lift-out-Methode genutzt, bei der mit FIB um die zu beobachtende Stelle herum abgetragen und eine Lamelle entnommen und fertiggestellt wird. Aberrationskorrigierte TEMs lösen mit unter 0,1 nm sogar die Atomanordnung auf. Bei dick aufgeschichteten oder in Flüssigkeit gelösten Proben können Elektronen nicht hindurchtreten.