Was wird mit der Vierspitzenmessung hauptsächlich gemessen?

Antwort: A. Der Schichtwiderstand

Bei der Vierspitzenmessung werden vier in einer Linie angeordnete Nadeln auf die Probe gesetzt, durch die äußeren beiden fließt Strom, und mit den inneren beiden wird die Spannung gemessen. Da durch die spannungsmessenden Nadeln kaum Strom fließt, lässt sich der Schichtwiderstand unabhängig vom Kontaktwiderstand messen. Bei ausreichend ausgedehnten dünnen Schichten gilt Rs = (π/ln2) × V/I ≈ 4,53 × V/I. Sie dient zur Bewertung von Diffusionsschichten und Metallfilmen. Spannung wird über die Waferverbiegung, Rauheit z. B. mit AFM gemessen.