Nederlands
Menu

Metrologie en analyse

Wat wordt hoofdzakelijk gemeten met de vierpuntsmethode?

  1. ALaagweerstand (sheet resistance)
  2. BFilmspanning
  3. COppervlakteruwheid
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Laagweerstand (sheet resistance)

Bij de vierpuntsmethode worden vier naalden op één lijn op het monster geplaatst, wordt stroom door de twee buitenste gestuurd en wordt met de twee binnenste de spanning gemeten. Omdat door de spanningsnaalden nauwelijks stroom loopt, kan de laagweerstand worden bepaald zonder invloed van contactweerstand. Bij een voldoende brede dunne film volgt deze uit Rs = (π/ln2) × V/I ≈ 4,53 × V/I. De methode wordt gebruikt voor de evaluatie van diffusielagen en metaalfilms. Spanning wordt via de waferkromming gemeten en ruwheid met onder meer AFM.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Metrologie en analyse

  1. Welke voorbehandeling is nodig om een monster met een transmissie-elektronenmicroscoop (TEM) te bekijken?
  2. Welk principe wordt gewoonlijk gebruikt in defectinspectieapparatuur die deeltjes en patroondefecten op wafers detecteert?
  3. Wat wordt hoofdzakelijk gemeten met een atoomkrachtmicroscoop (AFM)?
  4. Wat is te weten te komen met EDX (energiedispersieve röntgenspectroscopie), dat samen met SEM of TEM wordt gebruikt?
  5. Welke methode wordt veel gebruikt voor de analyse van sporen van metaalverontreiniging op het waferoppervlak?

Vergelijkingen bij dit onderwerp