계측과 분석

4탐침법으로 주로 측정하는 것은?

  1. A면저항(시트 저항)
  2. B막의 응력
  3. C표면 거칠기
정답과 해설 보기

정답: A. 면저항(시트 저항)

4탐침법은 일직선으로 늘어선 4개의 탐침을 시료에 접촉시키고, 바깥쪽 2개에 전류를 흘려 안쪽 2개로 전압을 측정하는 방법입니다. 전압을 측정하는 탐침에는 전류가 거의 흐르지 않으므로 접촉 저항의 영향을 받지 않고 면저항을 측정할 수 있습니다. 충분히 넓은 박막에서는 Rs=(π/ln2)×V/I≒4.53×V/I로 구합니다. 확산층이나 금속막의 평가에 사용됩니다. 응력은 웨이퍼의 휨으로, 거칠기는 AFM 등으로 측정합니다.

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