Métrologie et analyse
Que mesure principalement l’ellipsométrie (ellipsométrie spectroscopique) ?
- ALa résistance lorsqu’un courant traverse l’échantillon
- BL’épaisseur et l’indice de réfraction de films minces, déduits de la variation de l’état de polarisation de la lumière réfléchie
- CLe spectre de masse de l’échantillon pulvérisé par des ions
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Réponse : B. L’épaisseur et l’indice de réfraction de films minces, déduits de la variation de l’état de polarisation de la lumière réfléchie
L’ellipsométrie éclaire l’échantillon en incidence oblique avec une lumière polarisée, mesure le rapport d’amplitude (Ψ) et le déphasage (Δ) entre les polarisations p et s de la lumière réfléchie, puis ajuste ces valeurs à celles calculées par un modèle optique pour déterminer l’épaisseur et l’indice de réfraction de films minces. L’ellipsométrie spectroscopique, qui fait varier la longueur d’onde, permet aussi d’analyser des multicouches avec une répétabilité inférieure à 0.1 nm. Sans contact et non destructive, elle est largement utilisée pour le contrôle d’épaisseur des oxydes, etc. Elle ne mesure ni résistance ni spectre de masse.