Messtechnik und Analytik
Was wird mit der Ellipsometrie (spektroskopische Ellipsometrie) hauptsächlich gemessen?
- ADer Widerstand bei Stromfluss durch die Probe
- BSchichtdicke und Brechungsindex dünner Schichten, bestimmt aus der Änderung des Polarisationszustands des reflektierten Lichts
- CDas Massenspektrum einer mit Ionen abgetragenen Probe
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Antwort: B. Schichtdicke und Brechungsindex dünner Schichten, bestimmt aus der Änderung des Polarisationszustands des reflektierten Lichts
Bei der Ellipsometrie wird polarisiertes Licht schräg eingestrahlt, das Amplitudenverhältnis (Ψ) und die Phasendifferenz (Δ) von p- und s-polarisiertem reflektiertem Licht werden gemessen und durch Anpassung an mit einem optischen Modell berechnete Werte Schichtdicke und Brechungsindex bestimmt. Die spektroskopische Ellipsometrie mit wechselnder Wellenlänge kann auch Mehrschichtsysteme analysieren und erreicht eine Reproduzierbarkeit unter 0,1 nm. Da sie berührungslos und zerstörungsfrei ist, wird sie breit zur Dickenkontrolle von Oxidschichten usw. eingesetzt. Widerstand und Massenspektrum werden nicht gemessen.