Metrologie en analyse
Wat wordt hoofdzakelijk gemeten met ellipsometrie (spectroscopische ellipsometrie)?
- ADe weerstand wanneer stroom door het monster wordt gestuurd
- BDe dikte en brekingsindex van een dunne film, bepaald uit de verandering van de polarisatietoestand van gereflecteerd licht
- CHet massaspectrum van een monster dat met ionen is afgetast
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. De dikte en brekingsindex van een dunne film, bepaald uit de verandering van de polarisatietoestand van gereflecteerd licht
Bij ellipsometrie wordt gepolariseerd licht onder een hoek ingestraald en worden de amplitudeverhouding (Ψ) en het faseverschil (Δ) van de p- en s-gepolariseerde component van het gereflecteerde licht gemeten; door deze aan een met een optisch model berekende waarde te fitten worden dikte en brekingsindex van een dunne film bepaald. Bij spectroscopische ellipsometrie, waarbij de golflengte wordt gevarieerd, kunnen ook meerlaagse films worden geanalyseerd en wordt een herhaalbaarheid van 0,1 nm of beter bereikt. Omdat de methode contactloos en niet-destructief is, wordt ze veel gebruikt voor het beheersen van de dikte van onder meer oxidefilms. Weerstand en massaspectra worden niet gemeten.