Quel indicateur représente les irrégularités nanométriques apparaissant sur les flancs des motifs de résine fins ?

Réponse : C. Rugosité de bord de ligne (LER)

La LER est un indicateur de l'amplitude des irrégularités des flancs d'un motif (généralement exprimée en 3σ) ; exprimée en variation de largeur de ligne, on parle de LWR. Pour des largeurs de ligne d'environ 20 nm, même des irrégularités de 2 à 3 nm dépassent 10 % de la largeur et provoquent des variations de tension de seuil des transistors et de résistance des interconnexions. Elle résulte de la taille des molécules de résine, de la diffusion de l'acide et des fluctuations statistiques du nombre de photons ; on l'améliore notamment par lissage lors de la gravure.