Comment appelle-t-on la plage de conditions dans laquelle les dimensions du motif restent dans la tolérance malgré les variations de dose et de mise au point ?

Réponse : A. Fenêtre de procédé

La fenêtre de procédé est la plage dans laquelle les dimensions du motif restent dans la tolérance (par exemple ±10 % de la cible) malgré les variations de dose et de mise au point ; on la représente sur un diagramme avec la dose en ordonnée et la mise au point en abscisse (fenêtre ED). En production, les variations des équipements, le relief du wafer et les variations d'épaisseur de résine font fluctuer la dose et la mise au point ; plus la fenêtre est large, plus la fabrication est stable. L'OPC et l'optimisation des conditions d'illumination visent principalement à l'élargir.