Quelle description du coefficient k1 de la formule de résolution R = k1 × λ / NA est correcte ?

Réponse : A. C'est un coefficient représentant la difficulté du procédé, dont la limite inférieure théorique pour une seule exposition est 0,25

k1 est un coefficient qui synthétise les performances de la résine, l'ingéniosité du masque, les conditions d'illumination, etc. ; plus il est petit, plus les motifs résolus sont fins, mais plus la fenêtre de procédé se rétrécit et plus le procédé devient difficile. La limite inférieure théorique pour résoudre un motif périodique (lignes et espaces) en une seule exposition est 0,25. Il valait environ 0,6 dans les années 1990, mais les techniques de super-résolution comme l'illumination modifiée, les masques à décalage de phase et l'OPC l'ont abaissé à environ 0,27 à 0,3 même en production.