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Implantation ionique

Comment appelle-t-on la paire lacune-atome interstitiel créée dans le cristal lorsqu'un ion implanté déplace un atome de silicium ?

  1. APaire de Frenkel
  2. BPaire de Cooper
  3. CPaire électron-trou
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Réponse : A. Paire de Frenkel

Lorsqu'un ion implanté percute un atome de silicium, celui-ci est éjecté de sa position et devient interstitiel, laissant une lacune à sa place d'origine. Cette paire est une paire de Frenkel ; un seul ion peut en créer des centaines à des milliers. À forte dose, les dommages se superposent et forment une couche amorphe. Le recuit en fait recombiner la plus grande partie, mais le silicium interstitiel restant est à l'origine de la diffusion accélérée transitoire et des défauts EOR.

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