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Implantation ionique

Comment appelle-t-on la technique consistant à implanter des impuretés de type n dans une région déjà de type p afin de réduire la concentration nette d'impuretés ou d'inverser le type de conductivité ?

  1. AGetter
  2. BPassivation
  3. CContre-dopage (compensation)
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Réponse : C. Contre-dopage (compensation)

En superposant des impuretés de type opposé, donneurs et accepteurs se neutralisent mutuellement (compensation), la concentration nette de porteurs diminue, et si la quantité est suffisante, le type de conductivité s'inverse. On l'utilise pour ajuster la tension de seuil en abaissant la concentration uniquement en surface du canal, ou pour réaliser des canaux enterrés. Cependant, la quantité totale d'impuretés augmentant, la diffusion par impuretés ionisées s'intensifie ; la mobilité tend à baisser, et cela favorise aussi la variabilité.

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