이온 주입
주입된 이온이 실리콘 원자를 튕겨 냈을 때 결정 안에 생기는, 공공과 격자간 원자의 쌍을 무엇이라 하는가?
- A프렌켈 쌍
- B쿠퍼 쌍
- C전자-정공 쌍
정답과 해설 보기
정답: A. 프렌켈 쌍
주입된 이온이 실리콘 원자에 충돌하면 원자가 본래 위치에서 튕겨 나와 격자간 원자가 되고, 원래 위치에는 공공이 남습니다. 이 쌍이 프렌켈 쌍이며, 이온 1개가 수백~수천 개의 프렌켈 쌍을 만들기도 합니다. 도즈가 많으면 손상이 겹쳐 비정질층이 됩니다. 어닐링으로 대부분은 재결합하여 회복되지만, 남은 격자간 실리콘이 과도 증속 확산이나 EOR 결함의 원인이 됩니다.
- A. 올바릅니다. 공공과 격자간 원자의 쌍입니다.
- B. 쿠퍼 쌍은 초전도에서 전자가 쌍을 이룬 것입니다.
- C. 전자-정공 쌍은 빛 등으로 만들어지는 캐리어의 쌍입니다.