Quel équipement est principalement utilisé pour les implantations à dose moyenne, comme l'ajustement de la tension de seuil des MOSFET ou les caissons ?

Réponse : B. Implanteur ionique moyen courant

Les implanteurs ioniques se répartissent selon les gammes de dose et d'énergie en moyen courant (ajustement de seuil, halos, etc., 10¹¹ à 10¹⁴ cm⁻²), fort courant (fortes doses pour la source, le drain, etc.) et haute énergie (caissons profonds, etc.). L'implanteur moyen courant, au faisceau fin et stable, excelle en précision de dose et en contrôle fin de l'angle d'implantation (au 0,1° près), et sert aux implantations où un écart d'angle affecte directement les caractéristiques des transistors.