イオン注入

注入されたイオンがシリコンの原子をはじき飛ばしたときに結晶中にできる、空孔と格子間原子の組を何と呼ぶか。

  1. Aフレンケル対
  2. Bクーパー対
  3. C電子正孔対
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正解:A. フレンケル対

注入されたイオンがシリコン原子に衝突すると、原子が本来の位置からはじき出されて格子間原子になり、元の位置には空孔が残ります。この空孔と格子間原子の組をフレンケル対といいます。注入後のアニールで、これらの欠陥の大部分は再結合して回復します。

  • A. 正しい。空孔と格子間原子の組です。
  • B. クーパー対は超伝導で電子が対になったものです。
  • C. 電子正孔対は光などでつくられるキャリアの対です。
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