Ionenimplantation

Wie heißt das in einem Kristall entstehende Paar aus Leerstelle und Zwischengitteratom, wenn ein implantiertes Ion ein Siliziumatom herausschlägt?

  1. AFrenkel-Paar
  2. BCooper-Paar
  3. CElektron-Loch-Paar
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Antwort: A. Frenkel-Paar

Stößt ein implantiertes Ion mit einem Siliziumatom zusammen, wird das Atom von seinem Platz gestoßen und wird zum Zwischengitteratom, am ursprünglichen Platz bleibt eine Leerstelle. Dieses Paar ist das Frenkel-Paar; ein einzelnes Ion kann hunderte bis tausende Frenkel-Paare erzeugen. Bei hoher Dosis überlagern sich die Schäden zu einer amorphen Schicht. Der größte Teil rekombiniert beim Ausheilen und heilt aus, doch verbleibende Zwischengitteratome verursachen transient beschleunigte Diffusion und EOR-Defekte.

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