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Transistors avancés (FinFET et GAA)

Quel est l'un des principaux moyens d'ajuster la tension de seuil d'un transistor high-k/grille métallique ?

  1. AChoisir le travail de sortie du métal utilisé pour l'électrode de grille
  2. BChanger le diamètre de la plaquette
  3. CChanger le matériau du boîtier
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Réponse : A. Choisir le travail de sortie du métal utilisé pour l'électrode de grille

Avec une grille métallique, le travail de sortie du métal de l'électrode modifie la tension de bandes plates et détermine la tension de seuil. Un travail de sortie proche de la bande de conduction (environ 4,1 eV, TiAl, etc.) convient aux nMOS, un travail de sortie proche de la bande de valence (environ 5,1 eV, TiN, etc.) aux pMOS. En variant la combinaison et l'épaisseur de couches métalliques de quelques nm, on réalise plusieurs tensions de seuil, pour la vitesse ou pour la faible fuite.

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