Quel est le rôle principal de l'anneau de focalisation entourant la périphérie de la plaquette dans un équipement de gravure plasma ?

Réponse : B. Homogénéiser l'état du plasma et de la gaine en périphérie de la plaquette pour usiner les bords avec les mêmes profils et vitesses qu'au centre

Près de la périphérie de la plaquette, l'effet de bord de l'électrode courbe la gaine (couche accélérant les ions) ; les ions arrivent obliquement, inclinant les trous ou modifiant la vitesse de gravure. L'anneau de focalisation en silicium ou en quartz entourant la plaquette prolonge virtuellement l'électrode vers l'extérieur et maintient une gaine plane, ce qui permet d'usiner les puces situées à quelques mm du bord comme celles du centre. L'anneau s'érodant dans le plasma et son effet évoluant, on compense sa hauteur ou on le remplace périodiquement.