Pourquoi utilise-t-on principalement des revêtements d'oxyde d'yttrium (Y2O3) ou analogues sur les parois internes et les pièces des équipements de gravure plasma ?

Réponse : A. Parce qu'ils résistent au plasma, notamment fluoré, et s'érodent peu, ce qui réduit particules et contamination

L'érosion des parois internes par le plasma provoque contamination métallique (aluminium, etc.) et particules, et l'évolution de l'état des parois modifie les conditions de gravure. Avec l'oxyde d'yttrium, le fluorure d'yttrium formé par réaction avec le fluor est peu volatil et reste en surface ; le matériau est donc chimiquement stable et peu érodé face aux plasmas fluorés, d'où son usage en revêtement des parois et pièces. Des techniques de revêtement plus denses que la projection thermique sont également en développement.