プラズマエッチング装置で、ウエハの外周を囲むフォーカスリングの主な役割はどれか。

正解：B. ウエハの外周部のプラズマやシースの状態を整え、外周付近でも中央と同じような形状・速度で加工できるようにする

ウエハの外周付近では電極の端の影響でシース(イオンを加速する層)の形が曲がり、イオンが斜めに入射して形状が傾いたり速度が変わったりします。ウエハを囲むフォーカスリングでこの状態を整えることで、外周のチップまで均一に加工できるようにします。リングはプラズマで少しずつ削れるため、定期的に交換します。

• A. 裏面をエッチングするための部品ではありません。
• B. 正しい。外周部の加工を中央とそろえるための部品です。
• C. ウエハの冷却は静電チャックや裏面のガスで行います。