Quelle est la définition de la gravure anisotrope ?

Réponse : A. La gravure progresse principalement dans la direction verticale et presque pas latéralement

En gravure anisotrope, le bombardement d'ions accélérés verticalement par le champ électrique et l'action d'une couche protégeant les flancs font progresser préférentiellement la gravure verticale, tandis que la gravure latérale sous le masque est quasi inexistante. Le motif du masque est ainsi transféré fidèlement sans changement de dimension, ce qui permet de réaliser des formes fines et verticales, par exemple de quelques dizaines de nm de large pour plusieurs µm de profondeur. Une gravure progressant à la même vitesse dans toutes les directions est une gravure isotrope.