Gravure
Quelle est la définition de la « sélectivité » en gravure ?
- ALe rapport des épaisseurs de film avant et après gravure
- BLe rapport des vitesses de gravure entre le centre et le bord de la plaquette
- CLe rapport des vitesses de gravure entre le film à graver et le masque ou la sous-couche
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Réponse : C. Le rapport des vitesses de gravure entre le film à graver et le masque ou la sous-couche
La sélectivité est le rapport entre la vitesse de gravure du film à graver et celle du film à préserver (masque ou sous-couche). Pour la gravure de grille, par exemple, une sélectivité de 100 ou plus par rapport à la sous-couche peut être exigée afin de préserver un diélectrique de grille de quelques nm. Plus la sélectivité est élevée, plus le masque peut être mince et moins la sous-couche est endommagée. La dispersion de vitesse sur la plaquette est appelée « uniformité ».