Gravure
Quelle est la caractéristique générale de la gravure humide ?
- AElle utilise un plasma et est donc très anisotrope
- BElle progresse généralement de façon isotrope et s'étend facilement sous le masque
- CElle nécessite impérativement un équipement sous vide
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Réponse : B. Elle progresse généralement de façon isotrope et s'étend facilement sous le masque
La gravure humide dissout le film par réaction chimique avec une solution ; elle progresse donc généralement de la même façon dans toutes les directions (isotrope) et s'étend sous le masque sur une distance comparable à l'épaisseur du film (gravure latérale). L'équipement est simple, de nombreuses plaquettes peuvent être traitées à la fois, et la nature chimique de la réaction facilite une sélectivité élevée. La gravure sèche est utilisée pour les motifs fins, mais la gravure humide reste importante pour le retrait pleine plaque des films et le nettoyage.